浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法

【类型】期刊

【作者】刘荣祁 陈建荣 林宝卿 庄其仁 

【刊名】应用激光

【关键词】 衍射测量 刻槽深度 浮雕矩形光栅

【资助项】福建省自然科学基金计划资助项目　　（项目编号:A0710012）；福建省科技计划重点项目　　（项目编号:2007H0026）

【摘要】当激光束投射在浮雕光栅上，透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息。提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法。分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面，测量透过光栅的0级和1级衍射光强比，实现对光栅刻槽深度的间接测量。此测量方法理论精度优于1nm。给出了对石英浮雕矩形光栅的实验测量结果。该测量方法的突出特点是：所用仪器设备简单，对环境噪声不敏感，测量速度快，特别适用于在线检测。

【年份】2009

【期号】第3期

【页码】252-255

【作者单位】华侨大学信息科学与工程学院

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