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反应离子束刻蚀闪耀光栅技术
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作者:
傅新定
方红丽
陈国明
邹世昌
来源:
应用科学学报
年份:
1989
文献类型 :
期刊
关键词:
闪耀光栅
反应离子束
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描述:
一、引言反应离子束刻蚀是在离子束刻蚀基础上发展起来的具有广泛应用前景的微细加工技术.近年来,已被用来制作全息闪耀光栅.二、实用全息闪耀光栅反应离子束刻蚀全息闪耀光栅制造工艺请参阅文献[2],在石英基板上涂美国Shipley公司AZ1350胶的感光灵敏度峰值为260nm处,并随波长增长而感光灵敏度降低.现有氦镉激光器产生的441.6nm波长或氩离子激光器产生的457.9nm波长均可使用,但较理想的是325nm或更短的接近峰值波长.刻蚀装置采用冶金所自制的反应离子束刻蚀镀膜装置.选择合适的刻蚀工艺参数,在涂有浮雕光栅掩膜条纹的石英上进行反应离子束刻蚀,已刻蚀出国内第一批实用石英全息闪耀光栅,光栅面积为45×45mm~2,空间频率为1200l/mm.经测试:一级衍射效率为75%,一级波面象差λ/8,杂散光2.5×10~(-7),无鬼线,分辨率达理论值87%.所选择的刻蚀工艺稳定重复,成品率高.
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二婶
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作者:
邹世昌
来源:
黄河黄土黄种人
年份:
2014
文献类型 :
期刊
关键词:
天有不测风云
伙伴们
布老
补充营养
工厂工作
三人
上垫
一家老小
房内
能一
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描述:
爷爷过生日那天,二叔骑一辆带篷的三轮车回来了。十几口人欢聚一堂,低矮的两间小房内其乐融融,大家倾诉着思念之情。一桌酒菜,不算丰盛,但有鱼有肉;几瓶啤酒不多,却喝得个个笑逐颜开。"爸爸,你看,布老虎!"小女儿激动地喊道。顺着女儿雪白的小手望去,只见两只布老虎做得栩栩如生,黄色的底子、惟妙惟肖的胡子、小巧玲珑的耳朵一应俱全。我知道,这一定又是二婶用她独特的方式表达心意。