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肖秀娣
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按来源分组
稀有金属材料与工程
(1)
光学学报
(1)
关键词
倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析
作者：
齐红基
王晴云
肖秀娣
易葵
贺洪波
范正修
来源：
光学学报
年份：
2010
文献类型 ：
期刊
关键词：
“雕塑”薄膜
模拟退火算法
倾斜沉积技术
结构参数提取
薄膜
描述：
基于双轴双折射薄膜模型,利用在不同入射角度下薄膜对两种偏振态光波透射光谱,同时获得"雕塑"薄膜主轴折射率N
1
,N2,N3和薄膜厚度d及柱状角β等参数。基于倾斜沉积技术,利用电子束反应蒸发方法
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