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纳米印章模板的制备及应用
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作者：
王相和
杨翠萍
张丽娟
来源：
通化师范学院学报
年份：
2010
文献类型 ：
期刊
关键词：
硅基光栅
多层膜生长技术
纳米印章模板
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描述：
利用PECVD生长技术制备a-Si/SiNx多层膜,利用解理技术获得干净平滑的截面.利用选择性化学腐蚀技术在横截面上制备出浮雕型一维纳米模板.通过控制多层膜子层的生长时间,得到线条宽度和槽状宽度均最小为20纳米的等间距模板,品质优于电子束制备的模板.以这种模板为基础,利用印章技术制作了硅基光栅.