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- 酶蚀卤化银明胶制作连续微结构
- 作者： 彭钦军 郭永康 刘世杰 朱建华 曾阳素 陈波 来源： 中国激光杂志 年份： 2003 文献类型 ： 期刊 关键词： 实时掩模 光化学 连续微结构 蛋白酶刻蚀 卤化银明胶
- 描述： 提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法.给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析.求得存在吸收时,刻蚀深度与曝光量关系的解析式.表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因,并提出了解决方案和优化工艺参数,通过实验得到在刻蚀深度为4 μm范围内有良好的线性关系,最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵.