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128×128硅衍射微透镜阵列的设计与制备
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作者：
李毅
易新建
蔡丽萍
陈思乡
曾晓雁
来源：
中国激光
年份：
2000
文献类型 ：
期刊
关键词：
红外焦平面
微透镜阵列
衍射光学
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描述：
通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3～ 5μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列。阵列中微透镜的孔径为 10 0μm,透镜 F数为 f / 1.5,微透镜阵列的中心距为 10 0μm。采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列。对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论 ,对制备出的 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量。