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景德镇高专学报
(1)
关键词
浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征
作者：
万文琼
来源：
景德镇高专学报
年份：
2013
文献类型 ：
期刊
关键词：
表征方法
制备方法
ZnO薄膜
描述：
本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法,有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法,再对所制薄膜的表征方法进行介绍,有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。
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