浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征

【类型】期刊

【作者】万文琼 

【刊名】景德镇高专学报

【关键词】 表征方法 制备方法 ZnO薄膜

【摘要】本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法,有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法,再对所制薄膜的表征方法进行介绍,有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。

【年份】2013

【期号】第6期

【页码】18-19

【作者单位】景德镇陶瓷学院科技艺术学院

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