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亚波长浮雕结构的红外抗反射研究
作者: 陈思乡   易新建   曾延安   陈四海   来源: 红外与毫米波学报 年份: 2000 文献类型 : 期刊 关键词: 抗反射   二元光学   亚波长结构  
描述: ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 .
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