稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备方法的研究现状

【类型】期刊

【作者】曹俊 陈连平 李翠云 

【刊名】有色金属材料与工程

【关键词】 制备方法 长余辉 薄膜 铝酸锶 射频磁控溅射法

【资助项】国家自然科学基金项目

【摘要】稀土掺杂铝酸锶薄膜在长余辉夜视照明、无损实时可视化探测、机械应力传感器、纳米光电子器件、二维温度传感器以及薄膜太阳能电池等领域具有极为广阔、诱人的应用前景.要实现以上应用,首要条件是制备出质量高、性能优良的薄膜.因此制备稀土掺杂铝酸锶薄膜成为当今研究的热点.综述了国内外制备稀土掺杂铝酸锶薄膜的主要方法,包括射频磁控溅射法、溶胶—凝胶法、脉冲激光沉积法和激光熔蒸法,并重点介绍了射频磁控溅射法;另外对各种方法 的优缺点进行了阐述.

【年份】2016

【期号】第4期

【页码】171-175

【作者单位】江西理工大学材料科学与工程学院；景德镇陶瓷学院机械电子工程学院

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