上海微电子“智”造中国芯

【类型】期刊

【作者】宋杰 

【刊名】中国经济周刊

【关键词】 信息产业 半导体芯片 装备支撑 量产化 光刻机 平板电脑 激光退火 先进封装 移动终端 中国芯

【摘要】随着信息产业的发展,集成电路(也就是常说的“芯片”)成为手机、平板电脑等电子移动终端离不开的设备,而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展,芯片越做越小,集成的电路越来越多,能使终端变得小巧玲珑。在光刻机领域,上海微电子装备有限公司(下称“SMEE”)取得了重要突破,并在先进封装光刻机产品方面形成了系列化和量产化,在国际同类产品中处于先进水平,还实现了光

【年份】2016

【期号】第8期

【页码】43-44

【作者单位】《中国经济周刊》

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