- 站内检索
- 发现检索
全部
图书
期刊
按文献类别分组
关键词
- 园林建筑小品的种类及其在园林中的用途
- 作者： 高瑞红 黄欣 贾新宇 来源： 景观研究(英文版) 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： oddment ARCHITECTURAL CATEGORY USE GARDEN
- 描述： 园林建筑小品是指园林中供休息、装饰、照明、展示和为园林管理及方便游人之用的小型建筑设施。在园林中既能美化环境,丰富园趣,为游人提供文化休息和公共活动的方便,又能使游人从中获得美的感受和良好的教益。1
- 用HW-MWECRCVD系统沉积大面积均匀氢化非晶硅薄膜的研究
- 作者： 王立富 胡跃辉 张祥文 陈光华 曲铭浩 谢耀江 来源： 陶瓷学报 年份： 2009 文献类型 ： 期刊 关键词： MWECR沉积系统 氢化非晶硅薄膜 均匀性 HW
- 描述： 通过紫外-可见透射谱技术,计算得到薄膜各个位置的拟合厚度值,研究了a-Si∶H薄膜的厚度均匀性;通过对紫外-可见透射谱的分析和对红外吸收谱峰宽度的分析,研究了a-Si∶H薄膜的结构均匀性。研究发现对于单磁场线圈MWECRCVD系统,ECR区的不均匀性和沉积室的磁场梯度的不均匀,是影响a-Si∶H薄膜均匀性的主要原因。通过改进矩形耦合波导和热丝辅助及减小磁场线圈电流的方法,采用HW-MWECRCVD系统,在直径为6cm的衬底上沉积了厚度不均匀性<3.5%的a-Si∶H薄膜。