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利用CCD对位相全息图表面浮雕深度的快速测量
作者: 戴建明   陈怀新   陈祯培   来源: 实用测试技术 年份: 1996 文献类型 : 期刊 关键词: CCD测量   位相全息图   浮雕深度  
描述: 利用干涉显微镜、面阵CCD及微机系统,实现对位相全息图表面浮雕深度的快速测量,方法简便,测量精度高,能直观显示浮雕形貌,文中还对测量误差和测量条件的选择进行了分析。
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