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- 臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的研究
- 作者： 刘维良 吴坚强 陈云霞 汪有良 来源： 陶瓷学报 年份： 2001 文献类型 ： 期刊 关键词： 陶瓷基板 臭氧发生器 AlN陶瓷
- 描述： 为了提高臭氧发生器的臭氧产量 ,要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率。本文研究了掺杂成分CaO、Y2 O3 、YF3 、(Y ,Ca)F3 对臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的相对密度、热导率、介电常数、介质损耗等性能的影响。采用XRD分析其物相和SEM观察其显微结构 ,结果表明 ,掺杂成分对改善陶瓷基板材料性能的作用大小依次排列为 :(Y ,Ca)F3 YF3 Y2 O3 CaO ,最适合的掺杂配方是 :(Y ,Ca)F3 3 .0wt % ,YF3 2 .0wt % ,Y2 O3 1.0wt % ,CaO1.0wt %。