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关键词
制作重铬酸盐明胶微光学元件的
作者：
庞霖
严瑛白
金国藩
邬敏贤
郭履容
陈波
来源：
中国激光
年份：
2001
文献类型 ：
期刊
关键词：
红外焦平面
微透镜阵列
衍射光学
描述：
从生物化学和蛋白质的裂解机制出发,提出一种新的重铬酸盐明胶(DCG)浮雕形成方法――化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶具有少得多的作用位点,化学裂解方法比明胶酶蚀方法具有更高的刻蚀分辨率。实验考察表明,化学裂解方法可以获得500lines/mm的刻蚀分辨率。应用化学裂解方法,利用投影曝光系统和灰度掩摸,制作了单元线宽为30μm,深度为0.8μm的连续浮雕明胶微棱镜列阵。
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