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关键词
TTL电路的蒸发工艺技术
作者：
暂无
来源：
半导体技术
年份：
1977
文献类型 ：
期刊
关键词：
TTL电路
蒸铝
蒸发工艺
真空蒸发
熔铝
单蒸发
密度分布
蒸发源
掺金
高宽比
描述：
功能的电路。这种管芯内部的连接,即内引线的制作,通常是采用
真空蒸发
工艺,把金属铝
蒸发
到硅片表面,再经光刻工艺制备所需的内引线。在数字逻辑电路中,为了提高运算速度,电路设计上要进行“掺金工艺”,这种掺金
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