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- 菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析
- 作者： 邹文栋 刘佳 王星星 江茂清 龚勇清 来源： 光学精密工程 年份： 2013 文献类型 ： 期刊 关键词： 芯模 加工误差 三维形貌 菲涅耳波带板 菲涅耳微透镜 扫描白光干涉术
- 描述： 采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息。实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义。
- 菲涅耳型衍射光学元件的研究
- 作者： 杜春雷 郭履容 来源： 光子学报 年份： 1997 文献类型 ： 期刊 关键词： 菲涅耳型衍射光学元件 衍射效率
- 描述： 本文在衍射理论基础上深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性,针对连续及二元浮雕结构,建立了位相深度因子,波长匹配系数与衍射效率的关系式,对影响衍射效率的因素进行了讨论,研究了设计与工艺的匹配问题,建立了数值孔径,最小特征尺寸与衍射效率的关系,为不同波段衍射光学元件的应用,及设计和评价衍射光学元件提供了有效的理论方法,本文最后举例分析了用于白光波前传感器中的小数值孔径微透镜列阵的性能,并对衍射效率及传