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不同衬底温度下生长的Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7.0薄膜的XPS研究
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作者:
张效华
辛凤
胡跃辉
陈义川
杨丰
来源:
真空科学与技术学报
年份:
2013
文献类型 :
期刊
关键词:
Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7
脉冲激光沉积
薄膜
X射线光电子能谱
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描述:
:Bi,Zn,Nb,O四种元素的化学价态分别是+3,+2,+5,-2。BZN薄膜在550℃结晶,随着衬底温度升高到600℃,金属阳离子的结合能的峰位向高能方向移动,然而O1s的特征峰位也向高能方向移动,这归因于薄膜中存在的氧空位。