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URE-2000/35新型紫外光刻机研制成功
作者: 暂无 来源: 润滑与密封 年份: 2007 文献类型 : 期刊 关键词: 自动化程度   均匀照明   自动化控制   液晶显示   自动曝光   分离间隙   紫外光刻机  
描述: 型、URE-2000B型、URE-2000/25型紫外深度光刻机、430mm×430mm超大面积曝光机、URE-2000S型单双面紫外光刻机、URE-2000L连续浮雕微光学扫描光刻机,为国内外高等院校、科研单位开展微细加工技...
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