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关键词
喷雾裂解法制备掺氟氧化锡导电薄膜
作者：
曾涛
王硕
冯诗乐
施玮
陈云霞
苏小丽
来源：
陶瓷学报
年份：
2016
文献类型 ：
期刊
关键词：
FTO
方块电阻
品质因数
喷雾裂解
透光率
描述：
。研究结果表明,制备透明导电薄膜的最佳工艺参数为:基底温度500℃、掺杂浓度24 atom%、锡前体浓度0.5 M、喷涂次数60次及醇水比2:
1
,对应的透明导电玻璃方块
电阻
Rsh=11.3Ω/sqr,可见光区平均透光率Tave=77.80%,品质因数ФTC=7.2×10-3/Ω,评估指标均接近商品级别。
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