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光致抗蚀剂全息图及其复制品的特性
作者: 韩心得   来源: 光学精密工程 年份: 1979 文献类型 : 期刊 关键词: 复制品   复制全息图   显影剂   光致抗蚀剂   体全息图   预曝光   信噪比   衍射效率   浮雕全息图   曝光量  
描述: 试验研究了用光致抗蚀剂制造的表面浮雕全息图及用模压方法制取其复制品的特性。弄清了光致抗蚀剂全息图及其复制品的最高衍射效率几乎具有相同值—21—25%,而且原始全息图及其复制品的最高信噪比(S N R)都相当之好。
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