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2007
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润滑与密封
(1)
关键词
URE-2000/35新型紫外光刻机研制成功
作者：
暂无
来源：
润滑与密封
年份：
2007
文献类型 ：
期刊
关键词：
自动化程度
均匀照明
自动化控制
液晶显示
自动曝光
分离间隙
紫外光刻机
描述：
控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀
照明
;可连续设定分离间隙,采用19英寸大屏幕液晶显示,对准过程方便直观。整机具有性能可靠、外观精美、操作方便、自动化程度高等特点。通过技术创新,既满足了用户的要求
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