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其他
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作者:
暂无
来源:
中国光学与应用光学文摘
年份:
2001
文献类型 :
期刊
关键词:
激光技术
海洋大学
显影液
光致抗蚀剂
光照度
实验研究
曝光时间
理论分析
青岛
衍射效率
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描述:
TQ437 2001042953光致抗蚀剂衍射效率的研究=Study of diffractive efficiencyof photoresists[刊,中]/陈骏,雷磊,王维理,王金城(青岛海洋大学物理系.山东,青岛(266003))//激光技术.-2000,24(5).-333在理论分析的基础上对光致抗蚀剂感光版做了大量的实验研究,通过改变光照度、曝光时间、显影液浓度和显影时间,得到了拍摄该光致抗蚀剂浮雕全息干涉条纹所