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- 作者： 暂无 来源： 中国光学与应用光学文摘 年份： 2001 文献类型 ： 期刊 关键词： 激光技术 海洋大学 显影液 光致抗蚀剂 光照度 实验研究 曝光时间 理论分析 青岛 衍射效率
- 描述： TQ437 2001042953光致抗蚀剂衍射效率的研究=Study of diffractive efficiencyof photoresists[刊,中]/陈骏,雷磊,王维理,王金城(青岛海洋大学物理系.山东,青岛(266003))//激光技术.-2000,24(5).-333在理论分析的基础上对光致抗蚀剂感光版做了大量的实验研究,通过改变光照度、曝光时间、显影液浓度和显影时间,得到了拍摄该光致抗蚀剂浮雕全息干涉条纹所