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基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺
作者: 刘楠   金鹏   谭久彬   来源: 光电子(激光) 年份: 2012 文献类型 : 期刊 关键词: 固化收缩   硫醇   反应离子刻蚀   紫外压印   微光学元件    
描述: 基于硫醇-烯类材料具有固化凝胶点滞后的特点,本文将多种硫醇-烯类材料应用于紫外压印的连续浮雕结构微光学元件复制加工工艺中,用以降低固化收缩对于加工误差的影响。实验结果表明,虽然该材料的固化收缩达到
微光学和纳米光学制造技术
作者: 美 凯米编著   来源: 北京:机械工业出版社 年份: 2012 文献类型 : 图书 关键词: 制造   纳米材料   微光技术   光学元件   应用  
描述: 本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺,重点强调了关键性的专业技巧,提供了最新的技术信息,内容包括:面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。
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