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关键词
连续型衍射透镜激光直写技术研究
作者： 刘宏开   罗崇泰   王多书   陈焘   叶自煜   来源： 红外与激光工程 年份： 2006 文献类型 ： 期刊 关键词： 连续型衍射透镜   激光直写   光致抗蚀剂   连续型浮雕结构   微光学元件  
描述： 出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜。研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.
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