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- 螺旋连铸坯凝固过程仿真系统的开发
- 作者： 于得仁 雒兴刚 张茵麦 胡火生 刘祥 来源： 东北大学学报 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 数学模型 螺旋连铸坯 可视化 有限差分 凝固过程仿真系统
- 描述： 在建立了螺旋连铸坯传热数学模型并用有限插分法进行求解的基础上 ,应用VisualC ++编制了螺旋连铸坯仿真系统·系统采用多文档界面 ,支持用户交互输入数据·通过用户的输入数据建立三维的螺旋连铸坯模型·采用科学计算可视化的方法 ,以颜色值代表温度值 ,将温度值的变化动态直观地输出至界面·为便于观察连铸坯的局部 ,系统界面还支持三维模型的旋转、平移、动态缩小 /放大和局部放大等功能 ,从而为确定合理的拉坯速度和确定切分机构的理想位置提供了理论依据·
- 深蚀刻二元光学技术制作准分子曝光系统均匀器
- 作者： 徐平 李景镇 来源： 中国科学：E辑 年份： 2000 文献类型 ： 期刊 关键词： 深蚀刻 曝光系统 准分子激光器 光束均匀性 二元光学均匀器 大规模集成电路 光能利用率 误差分析
- 描述： 利用深蚀刻二元光学理论和技术设计并制作了用于准分子激光器曝光系统的深蚀刻二元光学均匀器。与原来使用的积分均匀器（石英棒列阵）相比，该均匀器具有重量轻，安装调控方便，光能利用率高，光束均匀性好等特点，对该器件的设计性能和参数进行了研究、分析和计算机模拟；在高精度台阶仪上对所制作的深蚀刻二元光学均匀器进行了精密检测；用深蚀刻元件制作误差理论并引入“边界误差”概念，对元件的表面浮雕检测结果进行了深入的分析，理论与实验结果符合得很好。