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从古中国青铜镜到皮米形干扰涂层的发展历程
作者: Norbert Kaiser   Martin Bischoff   Torsten Feigl   Ulrike Schulz   Sergiy Yulin   来源: 中国光学快报 年份: 2010 文献类型 : 期刊 关键词: 环境温度   双列直插   半导体   广东   光发射模块   股份有限公司   适应能力   光电子   小型化   深圳  
描述: 镜子的基本形态是一块具有高反射率表面和背面有浮雕装饰的金属。中国最早的镜子可追溯于公元前2000年。在最近的一百多年里,人类在提高镜子反射率方面取得了很多成就,扩展了相关的光学涂层领域。例如,深紫外(193 nm)和极紫外(13.5 nm)反射镜的出现促进了光刻技术的发展。期待薄膜系统在光学性能和整体稳定性方面有较大幅度的提高。
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