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关键词
磷硼元素在多晶硅中的研究
作者：
黄小明
杨邦美
来源：
贵州工业职业技术学院学报
年份：
2012
文献类型 ：
期刊
关键词：
多晶硅
三氯氢硅
磷硼元素
描述：
三氯氢硅精馏提纯除杂质，硼系化合物的物化性质与三氯氢硅比较相近，硼系化合物的分离成为三氯氢硅精馏提纯的难点与重点。通过长期的生产观察和分析数据，硼系化合物在三氯氢硅中得存在形式进行分类。
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