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线偏振高斯光束通过条形浮雕光栅的传输
作者: 李建龙   吕百达   来源: 物理学报 年份: 2007 文献类型 : 期刊 关键词: 角谱表示   高斯光束   严格的模式理论   条形浮雕光栅  
描述: 使用角谱表示和严格的模式理论研究了线偏振高斯光束通过特征尺寸与波长可比拟的条形浮雕光栅的传输,系统参数误差对浮雕层中光强最大值的影响.研究表明,光束在条形浮雕光栅各层中有不同的光强分布,浮雕层的介质
厄米-高斯光束通过正弦和矩形浮雕光栅传输特性的比较研究
作者: 李建龙   吕百达   来源: 物理学报 年份: 2007 文献类型 : 期刊 关键词: 正弦和矩形浮雕光栅   厄米   高斯光束   严格的傅里叶模式理论   透射系数矩阵递推算法   反射  
描述: 使用严格的傅里叶模式理论和反射-透射系数矩阵递推算法(RTCM),对不同阶数的厄米-高斯光束通过特征尺寸与波长可比拟的正弦和矩形浮雕光栅中的传输特性做了详细的研究和比较.结果表明,入射光束的初始场分布和浮雕光栅的结构影响浮雕光栅内的光强分布.矩形浮雕光栅对光束匀滑效果优于正弦形浮雕光栅.
基于严格耦合波理论的宽光谱金属介质膜光栅衍射特性分析
作者: 孔伟金   王书浩   魏世杰   云茂金   张文飞   王心洁   张蒙蒙   来源: 物理学报 年份: 2011 文献类型 : 期刊 关键词: 严格耦合波理论   金属介质膜光栅   衍射效率  
描述: 基于严格耦合波理论建立了金属介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE模式金属介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率和工作带宽为评价函数,对金属介质膜光栅的表面浮雕结构进行了优化设计.对于800nm
基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析
作者: 孔伟金   云茂金   孙欣   刘均海   范正修   邵建达   来源: 物理学报 年份: 2008 文献类型 : 期刊 关键词: 严格耦合波理论   多层介质膜光栅   衍射效率  
描述: 基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅
线偏振高斯光束通过复合型衍射光栅的传输特性
作者: 李建龙   吕百达   来源: 物理学报 年份: 2008 文献类型 : 期刊 关键词: 复合型衍射光栅   严格模式理论   高斯光束   亚波长体积相位全息光栅  
描述: 提出一种集合浮雕和折射率周期分布调制的复合型衍射光栅,并利用角谱表示和严格的模式理论研究了线偏振高斯光束通过这种复合型衍射光栅的传输特性.数值计算结果表明,在光栅的同一透射深度处复合型衍射光栅光强
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
作者: 朱伟忠   吴衍青   郭智   朱效立   马杰   谢常青   史沛熊   周洪军   霍同林   邰仁忠   徐洪杰   来源: 物理学报 年份: 2008 文献类型 : 期刊 关键词: 软X射线干涉光刻   软X射线金属型透射光栅   严格耦合波方法   衍射效率  
描述: 基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm
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