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- 磷硼元素在多晶硅中的研究
- 作者： 黄小明 杨邦美 来源： 贵州工业职业技术学院学报 年份： 2012 文献类型 ： 期刊 关键词： 多晶硅 三氯氢硅 磷硼元素
- 描述： 三氯氢硅精馏提纯除杂质，硼系化合物的物化性质与三氯氢硅比较相近，硼系化合物的分离成为三氯氢硅精馏提纯的难点与重点。通过长期的生产观察和分析数据，硼系化合物在三氯氢硅中得存在形式进行分类。