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作者： 暂无 来源： 中国光学与应用光学文摘 年份： 2001 文献类型 ： 期刊 关键词： 激光技术   海洋大学   显影液   光致抗蚀剂   光照度   实验研究   曝光时间   理论分析   青岛   衍射效率  
描述： 海洋大学物理系.山东,青岛(266003))//激光技术.-2000,24(5).-333在理论分析的基础上对光致抗蚀剂感光版做了大量的实验研究,通过改变光照度、曝光时间、显影液浓度和显影时间,得到了拍摄该光致抗蚀剂浮雕全息干涉条纹所
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