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溶胶-凝胶法制备Li掺杂ZnO纳米薄膜及其表征
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作者:
陈新华
胡跃辉
张效华
杨丰
陈义川
陈俊
马德福
来源:
真空科学与技术学报
年份:
2013
文献类型 :
期刊
关键词:
ZnO∶
凝胶
厚度
薄膜
溶胶
Li
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描述:
采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了ZnO∶ Li薄膜.研究了薄膜厚度对薄膜结构及光电性能的影响,结果表明:所有薄膜均由具有c轴优先生长取向的六角纤锌矿结构的ZnO晶体构成,晶体的粒径随厚度的增加先增大而后减小;薄膜的方阻随厚度的增加先减小后增大,当薄膜厚度为6层时,可获得最低方阻;所有薄膜均是透明的,在可见光区的平均透光率>80%;薄膜具有较强的紫外、绿光发光特性以及微弱的蓝光发光特性,随着薄膜厚度的增加,三种发光峰逐渐增强.