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溶胶-凝胶法制备Li掺杂ZnO纳米薄膜及其表征
作者: 陈新华   胡跃辉   张效华   杨丰   陈义川   陈俊   马德福   来源: 真空科学与技术学报 年份: 2013 文献类型 : 期刊 关键词: ZnO∶   凝胶   厚度   薄膜   溶胶   Li  
描述: 采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了ZnO∶ Li薄膜.研究了薄膜厚度对薄膜结构及光电性能的影响,结果表明:所有薄膜均由具有c轴优先生长取向的六角纤锌矿结构的ZnO晶体构成,晶体的粒径随厚度的增加先增大而后减小;薄膜的方阻随厚度的增加先减小后增大,当薄膜厚度为6层时,可获得最低方阻;所有薄膜均是透明的,在可见光区的平均透光率>80%;薄膜具有较强的紫外、绿光发光特性以及微弱的蓝光发光特性,随着薄膜厚度的增加,三种发光峰逐渐增强.
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