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江师正型光刻胶全息特性的实验研究
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作者:
陶世荃
朱伟利
来源:
影像材料
年份:
1982
文献类型 :
期刊
关键词:
正型光刻胶
显影液
两种类型
光致抗蚀剂
位相全息图
附着力
衍射效率
浮雕全息图
正胶
最佳曝光量
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描述:
光刻胶(光致抗蚀剂)是一种有机光敏材料,有正胶和负胶两种类型。负胶中,曝光时吸收了光的部分变成不溶性的,在显影阶段只有未曝光的部分被显影液除去,因而用负胶记录的浮雕像对基片的附着力强烈依赖曝光量。正胶则相反,胶层对基片已有足够的附着力,吸收的光子使分子发生光分解反应,因此材料软化,在显影阶段将曝光了的分子除去。故正胶是记录表面浮雕全息图的理想材料。国外广泛采用的是Shipley公司AZ-1350序列正胶,对这种光刻胶的性能已有全面研究。