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陶瓷工艺
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2005
(1)
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光子学报
(1)
关键词
一种二元整形元件激光直写方法的实验研究
作者：
陈林森
邵洁
王雪辉
徐兵
解剑峰
沈雁
来源：
光子学报
年份：
2005
文献类型 ：
期刊
关键词：
激光直写
衍射
二元光学
位相编码
描述：
的高质量直写,分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形两台阶二元整形元件的
1
级衍射效率达到31%,给出了实验结果。
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