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深刻蚀连续浮雕微光学元件的衍射分析
作者: 徐平   唐继跃   郭履容   郭永康   杨家发   杜春雷   李展   周明宝   来源: 中国激光 年份: 1996 文献类型 : 期刊 关键词: 深刻蚀   连续位相   元件   微光学   衍射光学  
描述: 讨论了深蚀刻连续浮雕位相微光学元件的衍射特性.给出了槽形与衍射效率关系的初步研究结果.对实际制作具有指导意义.
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