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陶瓷历史
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1992
(1)
按来源分组
电子工艺技术
(1)
关键词
提高3DG131晶体管的优品率与可靠性
作者：
张显仁
曾庆诚
来源：
电子工艺技术
年份：
1992
文献类型 ：
期刊
关键词：
高温通氮氧化
可靠性
氮氧化
晶体管
描述：
通过对双扩散工艺制作的3DG131失效芯片的显微剖析,革新了常规工艺,采用高温通氮气氧化的退火方法和掺氮氧化的新工艺,可降低热氧化过程中出现的热氧化堆垛层错并消除其影响。结果表明,管芯各项电参数均有明显优化,它对提高芯片的优品率和可靠性取得了比较明显的效果。
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