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关键词
Al
2
O
3
-TiO
2
复合薄膜晶相及形貌研究
作者：
陈云霞
周学东
赖东升
来源：
人工晶体学报
年份：
2009
文献类型 ：
期刊
关键词：
形貌
TiO2复合薄膜
晶相
Al2O3
描述：
随着Al2O3添加量的增加而变化的趋势。XRD测试结果表明,随着Al2O3添加量的增加,薄膜中TiO2晶粒的平均尺寸逐渐减小;而AFM测试结果表明,薄膜表面粗糙度呈现减小的趋势,但是当Ti/Al比例增加到
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