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微系统制造中的3维微成形技术
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作者：
董涛
章维一
侯丽雅
来源：
南京理工大学学报
年份：
2001
文献类型 ：
期刊
关键词：
微小机械
制造工艺
立体造型
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描述：
该文提出了微系统的定义 ,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对微成形技术的影响。分析了作为现阶段微系统主流制造技术的微电子IC工艺的优缺点 ;评述了LIGA、DRIE、微浮雕、RPM 4种 3维微成形法 ;指出了如何将其组合以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要 ;提出了微系统中值得研究的若干课题群。