LTCC五阶LC带通滤波器的设计与关键工艺分析
日期：2010.01.01 点击数：12
【类型】期刊
【刊名】半导体技术
【摘要】低温共烧陶瓷（LTCC）技术具有内埋置无源元件、集成度高、可靠性好以及优良的高频特性等特点,成为无线通讯系统中更具影响力与竞争力的技术之一。在了解现有工艺平台的基础上,利用集总参数元件进行带通滤波器的设计,使用高频电磁场仿真软件Ansoft HFSS建立滤波器的物理模型并对其进行仿真,经LTCC工艺线加工出中心频率为1 500 MHz、带宽为800 MHz的LC带通滤波器。成品经矢量网络分析仪Agilent E8358A测试,测试结果与仿真曲线吻合较好,都符合设计值的要求。最后对影响滤波器性能的一些关键工艺进行了分析,达到了将LTCC滤波器设计与工艺实现相结合的目的。
【年份】2010
【期号】第11期
【页码】1130-1133
【作者单位】电子科技大学国家863计划强辐射实验室；中国电子科技集团公司第十三研究所
【全文挂接】获取全文