RF-PCVD法制备纳米碳化钨微晶的研究
日期：2006.01.01 点击数：3
【类型】期刊
【刊名】陶瓷学报
【关键词】 WC1 化学气相沉积法 x W2C 高频等离子体 WC 纳米
【摘要】采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD),以WCl6+C2H2+H2的反应体系来制备纳米碳化钨微晶,实验制得了粒径小于100nm,平均粒径为50nm的纳米碳化钨微晶样品.理论分析和实验结果都表明:RF-PCVD法制备的碳化钨样品比较复杂,含有WC,W2C,WC1-x等三种碳化钨.其中WC的硬度较高,而W2C,WC1-x的催化活性较好.
【年份】2006
【期号】第2期
【页码】176-180
【作者单位】景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院 （333001）
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