一种新的ZnO/金刚石薄膜结构紫外光探测器

【类型】期刊

【作者】刘健敏 王林军 史伟民 夏义本 

【刊名】压电与声光

【关键词】 氧化锌/金刚石薄膜结构 光探测器 载流子陷阱效应 晶粒尺寸

【资助项】国家自然科学基金资助项目(60577040) 江西省教育厅基金资助项目(赣教技字(2006)203号)

【摘要】不同晶粒大小、高度c轴取向的氧化锌薄膜通过射频反应磁控溅射法成功地沉积在自支撑金刚石薄膜的成核面上。紫外光辐照下,ZnO/金刚石薄膜结构紫外光探测器有明显的光响应特性。探测器的暗电流、光电流与ZnO薄膜的晶粒尺寸及质量有关。在+10V偏压条件下,氧化锌薄膜的晶粒尺寸越大,则探测器的暗电流越小而光电流越大。光电流的时间依赖性证实了载流子的陷阱效应。

【年份】2009

【期号】第5期

【页码】682-684

【作者单位】景德镇陶瓷学院机械电子工程学院;上海大学材料科学与工程学院;

【全文挂接】获取全文