以DBE为溶剂非水解溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的研究

【类型】期刊

【作者】冯果 李聪 江伟辉 刘健敏 张权 吴倩 苗立锋 

【刊名】中国陶瓷

【关键词】 溶剂 非水解溶胶 DBE 硅酸锆 薄膜 凝胶法

【摘要】以四氯化锆为锆源、正硅酸乙酯为硅源,DBE为溶剂,采用非水解溶胶-凝胶法在单晶硅基片表面制备硅酸锆薄膜。运用TG-DTA、XRD、FE-SEM和SEM等研究了凝胶热处理过程中的相转变和薄膜的抗NaOH溶液腐蚀性能。结果表明:凝胶在650℃形成t-ZrO2相,t-ZrO2相和无定形氧化硅于800℃反应合成硅酸锆,经900℃热处理可以在单晶硅基片上制备均匀、致密、无缺陷的硅酸锆薄膜。所制的硅酸锆薄膜可以有效地保护单晶硅基片免受NaOH溶液腐蚀,具备良好的抗腐蚀性能。

【年份】2018

【期号】第2期

【页码】17-21

【作者单位】景德镇陶瓷大学国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心；景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院；江西省先进陶瓷材料重点实验室

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