双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响

【类型】期刊

【作者】李聪 江伟辉 冯果 刘健敏 吴倩 苗立锋 张权 

【刊名】人工晶体学报

【关键词】 双氧水 硅酸锆 抗腐蚀性 溶胶 凝胶法

【资助项】国家自然科学基金(51362014,51662016,51402135)；江西省优势科技创新团队建设计划(20133bcb24010)；江西省教育厅基金(gjj150887,gjj150919)

【摘要】以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜。借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水（H2O2）对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能。结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题;当H2O2/Zr的摩尔比小于2时,制备的薄膜不致密、不均匀;当H2O2/Zr的摩尔比大于2时,制备的样品有杂质相;最优的H2O2/Zr摩尔比为2,可制得均匀、致密的硅酸锆薄膜;所制备的薄膜具有较好的抗NaOH溶液腐蚀性能,单晶硅基片腐蚀前后质量损失为16.92%,而镀有硅酸锆薄膜的单晶硅基片腐蚀前后质量损失仅为0.56%。

【年份】2017

【期号】第2期

【页码】224-230

【作者单位】景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院；国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心

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