Ag雕塑薄膜生长的阴影效应研究

【类型】期刊

【作者】陈书汉  

【刊名】科学技术与工程

【关键词】 阴影效应 动力学蒙特卡罗模拟 Ag雕塑薄膜

【摘要】通过引入阴影效应、层内扩散和层间扩散势能,建立了倾斜沉积条件下金属雕塑薄膜生长的三维动力学蒙特卡罗模型。利用该模型模拟了Ag在倾斜沉积实验条件下的生长过程。模拟结果表明,由于阴影效应的加强,薄膜表面随着沉积角的增加明显变得粗糙并长成纳米柱结构。通过改变不同的沉积角,研究了薄膜表面形貌的变化,并统计分析了表明粗糙度随薄膜高度的变化关系,论证了雕塑薄膜生长过程中阴影效应与扩散效应的影响机制。

【年份】2014

【期号】第10期

【页码】115-118

【作者单位】广东嘉应学院物理与光信息科技学院

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