阴影效应对柱状薄膜生长影响的动力学蒙特卡罗模拟

【类型】期刊

【作者】陈书汉 

【刊名】嘉应学院学报

【关键词】 柱状薄膜 动力学蒙特卡罗 倾斜沉积法

【资助项】国家自然科学基金资助项目　　（60977042）

【摘要】建立了弹道入射的薄膜三维蒙特卡罗形貌仿真模型,模拟了倾斜沉积情况下柱状薄膜的生长形貌,研究了沉积角度对柱状薄膜形貌的影响.通过动力系蒙特卡罗模拟,分析了雕塑薄膜生长过程中的阴影效应,并且验证了在倾斜沉积实验条件下,斜柱状薄膜生长模式的稳定性,这为后续准确控制雕塑薄膜结构并实现量化控制提供重要的理论依据.

【年份】2011

【期号】第11期

【页码】32-35

【作者单位】嘉应学院物理与光信息科技学院；中山大学光电材料与技术国家重点实验室

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