折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测

【类型】期刊

【作者】梁旭 王军华 徐敏 李锦江 李旭峰 

【刊名】激光与光电子学进展

【关键词】 检测 折 二元光学 衍混合镜片 光学器件 单点金刚石车削

【摘要】讨论了折-衍光学镜片的设计、加工和检测。结合设计采用单点金刚石车削工艺加工出了具有连续浮雕结构的折-衍光学镜片。对加工成的折-衍光学镜片采用先进的数字化检测,结果表明,面型精度为0.228μm,表面粗糙度为1.279 nm,台阶位置误差小于1/3波长。对折-衍光学镜片加工中产生的遮挡效应和光的透过率损失给出了定量的分析结果。

【年份】2011

【期号】第3期

【页码】63-67

【作者单位】复旦大学教育部微纳光子结构重点实验室光科学与工程系；上海现代先进超精密制造中心有限公司

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