二维表面浮雕结构的矢量衍射分析

【类型】期刊

【作者】鱼卫星 卢振武 王鹏 翁志成 

【刊名】光学学报

【关键词】 表面浮雕结构 抗反射 耦合波理论 矢量衍射分析

【摘要】利用等效介质理论 ,通过严格的耦合波理论计算和分析了二维表面浮雕结构的反射效率与各种因素的关系 ,给出了不同情况下的变化曲线 ;同时计算出了该结构在正入射情况下的等效折射率系数。明确提出 :不管是对称的还是非对称的二维表面浮雕结构 ,方位角和极化角的变化对其反射率的影响都不明显 ;从而得出二维表面浮雕结构可以实现消偏振、减反的特性。分析了该结构的带宽限制 ,给出了在给定结构下受限的带宽 ;同时对浮雕高度加工误差对反射率的影响作了分析 ,对实际工作有一定的指导意义

【年份】2001

【期号】第8期

【页码】980-986

【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【全文挂接】获取全文