一步激光直写制作透射式相位光栅
日期：2008.01.01 点击数：9
【类型】期刊
【刊名】光电子.激光
【关键词】 透射式相位光栅 一步激光直写 衍射效率 衍射光学
【摘要】利用一步激光直写灰阶光刻方法制作了具有连续浮雕结构的透射式相位光栅。原子力显微镜测量结果表明制作的透射式相位光栅具有连续外形轮廓、理想的周期和深度。飞秒激光实验系统测量的光栅的衍射效率结果表明:最大衍射角效率为66.8%、零级能量仅为入射光能量的3.3%,这在光限幅中有重要应用价值。
【年份】2008
【期号】第10期
【页码】1332-1334
【作者单位】南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室
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