沉积在聚合物表面上的金属薄膜自发形成图案的实验研究

【类型】期刊

【作者】赵小力 董申 孙涛 李增强 

【刊名】电子显微学报

【关键词】 金属薄膜 褶皱图案 聚二甲基硅氧烷PDMS 离子溅射

【摘要】用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)表面沉积的金膜因金属与聚合物之间热膨胀系数的差异从而导致了具有正弦界面、微米尺度的波长和振幅的复杂而有序的褶皱图案。用光刻技术在硅片制备图形结构作为模板,通过复制模铸得到表面具有浮雕结构的聚二甲基硅氧烷基片。改变浮雕结构可以调控其上沉积的金膜的褶皱图案呈规则有序的排列。这种多尺度的复合结构将光刻技术、复制模铸和物理自组装等有效结合,可广泛应用于微纳制造领域。

【年份】2006

【期号】第6期

【页码】477-480

【作者单位】哈尔滨工业大学精密工程研究所　　黑龙江哈尔滨　　（150001）

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