压力注浆成型大规格ITO靶材坯体研究

【类型】期刊

【作者】杨硕 朱玉龙 张大帅 

【刊名】材料开发与应用

【关键词】 压力注浆 ITO粉 ITO靶材坯体

【资助项】国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)

【摘要】以ITO粉体为原料,使用压力注浆成型技术制备了ITO靶材坯体。研究了浆料粘度、固含量、加压时间、真空处理等因素对ITO靶材坯体结构的影响。结果表明,使用3步加压时,通过变单孔注浆模具为双孔模具,可显著提高注浆效率,同时解决坯体空心的问题;适当延长中压保压时间和提高浆料固含量可使大规格坯体密度得到不同程度的提高;所得高密度坯体在1 590℃烧结,可制备出相对密度达99.87%的较大规格ITO靶材。

【年份】2018

【期号】第3期

【页码】68-71

【作者单位】中国船舶重工集团公司第七二五研究所

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